X射線熒光光譜儀產(chǎn)生于50年代，由于可以對復(fù)雜體系進(jìn)行多組分同時測定，受到觀注，特別在地質(zhì)部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。
X射線熒光光譜儀就是由x射線光管發(fā)生的一次x射線激發(fā)樣品，試樣可以被激發(fā)出各種波長的特征x射線熒光，需要把混合的x射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的x射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析的方法。
X射線熒光光譜儀
X射線熒光光譜儀的使用安全規(guī)則：
1、安裝和維護(hù)須由受培過訓(xùn)的人來實(shí)施。
2、安全設(shè)施不能由未受培訓(xùn)的人員來處理。
3、用戶須做到：按當(dāng)?shù)氐陌踩?guī)則來處理和操作系統(tǒng)。
4、所有的X-ray分析系統(tǒng)須定期用合適的儀器檢查。
5、一旦設(shè)備處于不安全狀態(tài)，須切斷電源，并在設(shè)備上張貼“不得使用”字樣。
6、操作人員須佩帶個人劑量牌。
7、所有操作人員知道安全的必要性。
8、校正、調(diào)整、維修和更換X射線管須由受過培訓(xùn)的人員來實(shí)施。
X射線熒光光譜儀是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運(yùn)動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強(qiáng)度，可以據(jù)此進(jìn)行定性和定量分析。
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